delphi XE中怎么单步调试？设置的断点无效

delphi XE中如何单步调试？设置的断点无效。
按F7进入CPU窗口，关闭CPU窗口之后，就停住了，再按F7，提示Source File Not Found 窗口，什么原因？

[解决办法]
是不是缺少文件，或者3方控件单步调用时会进入源码，可能会有Bug的
用F9直接执行到断点试试
[解决办法]
F7能一步一步看的话，那些要注册的控件（仅提供dcu文件）就没生意了。