硅微机械加工技术
基本信息·出版社：化学工业出版社 ·页码：348 页 ·出版日期：2007年05月 ·ISBN：9787502592585 ·条形码：9787502592585 ·版本：第1版 ·装帧：平装 ...
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硅微机械加工技术 |
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硅微机械加工技术 |
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基本信息·出版社：化学工业出版社
·页码：348 页
·出版日期：2007年05月
·ISBN：9787502592585
·条形码：9787502592585
·版本：第1版
·装帧：平装
·开本：16开
内容简介 英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅——硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。
编辑推荐 英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅——硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。
目录 1 简介
2 各向异性湿去腐蚀
3 湿法化学腐蚀的化学物理机制
4 硅片键合
5 实例和应用
6 表面微机械加工
……
文摘 插图
