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微机电系统设计与加工 |  |
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微机电系统设计与加工 | |
出版日期: 2010年2月1日
《微机电系统设计与加工》是MEMS系列图书的一本，主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。
《微机电系统设计与加工》主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考。
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