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微机电系统基础(英文版)(第2版)

2014-04-05 
出版日期: 2011年9月1日《微机电系统基础(英文版)(第2版)》全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS
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微机电系统基础(英文版)(第2版)

出版日期: 2011年9月1日

《微机电系统基础(英文版)(第2版)》全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的技术论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。《微机电系统基础(英文版)(第2版)》被美国斯坦福大学、伊利诺伊大学等选为教材。

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