薄膜材料与薄膜技术
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薄膜材料与薄膜技术 |
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薄膜材料与薄膜技术 |
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基本信息·出版社：化学工业出版社
·页码：313 页
·出版日期：2004年01月
·ISBN：7502549382
·条形码：9787502549381
·版本：第1版
·装帧：平装
·开本：16开 Pages Per Sheet
内容简介 本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征、对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。
编辑推荐 本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征、对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。
目录 第一章 真空技术基础1
第一节 真空的基本知识1
一、真空度的单位1
二、真空区域的划分2
三、固体对气体的吸附及气体的脱附2
第二节 真空的获得3
……
