基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用

基本信息·出版社：冶金工业
·页码：198 页
·出版日期：2007年08月
·ISBN：7502442766
·条形码：9787502442767
·版本：第1版
·装帧：平装
·开本：0开 Pages Per Sheet