微机电系统设计与制造
基本信息·出版社：国防工业出版社 ·页码：371 页 ·出版日期：2006年01月 ·ISBN：7118041211 ·条形码：9787118041217 ·版本：第1版 ·装帧：平装 · ...
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微机电系统设计与制造 |
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微机电系统设计与制造 |
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基本信息·出版社：国防工业出版社
·页码：371 页
·出版日期：2006年01月
·ISBN：7118041211
·条形码：9787118041217
·版本：第1版
·装帧：平装
·开本：16开 Pages Per Sheet
·丛书名：研究生系列规划教材
编辑推荐 本书概要地介绍MEMS的设计与制造，针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必要的基础。
目录 第1章 MEMS的概论
1.1 MEMS的形成
1.1.1 交叉学科对科技发展的作用
1.1.2 MEMS的发展
1.2 MEMS的原理设计
1.2.1 工程技术的三要素
……
