薄膜材料与薄膜技术(第2版)
基本信息·出版社：化学工业出版社 ·页码：249 页 ·出版日期：2008年01月 ·ISBN：7122013146 ·条形码：9787122013149 ·版本：第2版 ·装帧：平装 · ...
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薄膜材料与薄膜技术(第2版) |
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薄膜材料与薄膜技术(第2版) |
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基本信息·出版社：化学工业出版社
·页码：249 页
·出版日期：2008年01月
·ISBN：7122013146
·条形码：9787122013149
·版本：第2版
·装帧：平装
·开本：16开
内容简介 本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评述和展望。
本书技术先进，内容实用，适合于从事材料研究的科研、技术人员阅读参考，同时也可作为高校材料专业教材使用。
目录 第一章 真空技术基础
第一节 真空的基本知识
一、真空度的单位
二、真空区域的划分
三、固体对气体的吸附及气体的脱附
第二节 真空的获得
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